Mokhoa oa motheo oa ho roala oa JKL PVD

(1) Kalafo ea pele ho PVD, ho akarelletsa ho hloekisa lintho le ho phekoloa pele ho nako.Mekhoa e khethehileng ea ho hloekisa e kenyelletsa ho hloekisa ka sesepa, ho hloekisa metsoako ea lik'hemik'hale, ho hloekisa ka ultrasonic, le ho hloekisa libomo tsa ion.
(2) Li kenye ka sebōping, ho kenyelletsa le ho hloekisa kamore ea vacuum le lisebelisoa, le ho kenya, ho laela le ho hokahanya lintho le lisebelisoa.
(3) Ho hloekisa, hangata ho pompa ho 6.6Pa kapa ho feta, bula bokapele ba pompo ea phallo pejana ho boloka pompo ea vacuum le ho futhumatsa pompo ea phallo.Ka mor'a hore preheating e lekane, valve e phahameng e buloa 'me e pompetsoe ho 6 x 10-3 Pa halofo e ka tlaase ea vacuum e nang le pompo ea phallo.
(4) Ho baka, ho baka lintho ka mocheso o batlang.
(5) Ion bombardment, vacuum ka kakaretso ke 10 Pa ho 10-1 Pa, ion bombardment voltage ke matla a phahameng a mpe a 200 V ho 1 KV, 'me nako ea tlhaselo ke 15 min ho 30 min.
(6) Ho qhibiliha pele, ho lokisa hona joale ho ea pele ho qhibilihisa thepa, ho lokisa hona joale ho ea pele ho qhibiliha plating le degassing bakeng sa 1min ~ 2min.Evaporating deposition.Mouoane oa hona joale o lokisoa kamoo ho hlokahalang ho fihlela nako eo u e batlang e felile.Ho pholile, lintho li pholile mocheso o itseng ka kamoreng ea vacuum.
(7) Ka mor'a hore lintho li ntšoe, kamore ea vacuum e koetsoe, sephahla se ntšoa ho l × l0-1Pa, 'me pompo ea phallo e pholile ho ea mocheso o amohelehang pele pompo ea tlhokomelo le metsi a pholileng a ka tima.
 


Nako ea poso: Sep-07-2021